Mikro és nanotechnika

Mikro és nanotechnika

Tárgykód	VIEEM251
Általános infók
Szak	villany MSc
Kredit	4
Ajánlott félév	2
Tanszék	EET
Követelmények
NagyZH	1 db
Vizsga	írásbeli
Elérhetőségek
Tantárgyi adatlap

Segédanyagok

• Mizsei anyagrésze 2011
• Mizsei anyagrészéből jegyzet 2011
• Mikrofluidika előadás 2011
• MFA előadások 2011: Fotolitográfia, Nedves marások, Száraz marások, Rétegleválasztás
• Mikromechanika jegyzet - feladatok és elmélet
• Mikrofluidika feladatmegoldás
• Feladatok zh-ra 2011

Zárthelyi

A zh csak Mizsei részeiből van, és 10 kiskérdést tartalmaz. Az aláírás megszerzéséhez 40% elérése szükséges, a vizsgába csak akkor számít bele, ha jól sikerül.

--Kalman 2013. június 8., 14:08 (UTC)

Vizsga

2011.12.20. vizsga

• Szabó Petitől feladat (kantilever szeizmikus tömeggel)
• előző feladatban lévő a rugóengedékenységét és rezonancia frekvenciáját kellett kiszámolni
• Az 1. feladatban lévő eszközt hogy készítené el (kiinduló anyagok, lépések)
• Ender Feritől egy összetett Reynolds számos feladat
• Fotolitográfia alkalmazása és korlátai a mikrométeres és nanométeres tartományban

2012.01.05. vizsga

• Szabó Petitől 2 feladat (termikus eff. mérő)
• Ender Feritől egy összetett Reynolds számos feladat
• Közeltéri mikroszkópia összehasonlítása a többi mikroszkópiával
• Maszkelőállítás és alkalmazása mikro és nanotechnikában

2012.01.19. vizsga

• Szabó Petitől 2 feladat (kantilever szeizmikus tömeggel, igénybevétel határa; hősugárzás-érzékelő)
• Ender Feritől egy összetett Reynolds számos feladat, ez alapján megoldható
• A mikrofluidikás feladatban lévő eszközt hogy készítené el (kiinduló anyagok, lépések), két oldala ennek a diasornak
• A felületi mikromechanika jellemzése

2012.12.18. vizsga

1. MEMS számítás: Termikus effektív érték mérő kimeneti feszültségét és termikus időállandóját kellett meghatározni.
2. MEMS számítás: 4 oldalán rugóval (konzollal) felfüggesztett tömeg rezonancia frekvenciájának a kiszámítása.
3. Si anizotróp marása nedves illetve száraz marással.
4. Mikrofluidika
   • (a) Adott a Y mixer csatorna paraméterei és az Re szám ? Milyen áramlás (Re=2 )? Mekkora az áramlási sebesség?
   • (b) Mekkora L hosszúságú csatorna kell a keveredéshez / diffúzióhoz ?
   • (c) Milyen technológiai lépésekkel valósítható meg egy ilyen mikrofluidikai csatorna?

2013.01.03. vizsga

1. http://www.eet.bme.hu/~szekely/ MEMS termikus (ppt anyag) 39.-41. diák: Érzékenységet és időállandót is kellett számolni, valamint NEP-et is ki kellett számolni.
2. Ugyanaz a szerkezet, mint az 1. feladatban, csak most rezgő mechanikai rendszerként tekintünk rá. Rugóengedékenységet és rezonanciafrekvenciát kellett kiszámítani. + Ha a másik oldalon is kapcsolódna a blukhoz egy hídon keresztül a szeizmikus tömeg, akkor hogyan változna a rugóengedékenység, valamint a rezonanciafrekvencia
3. egy az egyben ez volt szerintem
4. Felületi mikromechanika jellemzése (technológiai lépéssor, előnyök, hátrányok, stb.)
5. Hogyan alakítanád ki az 1. feladatban szereplő szerkezetet.

2013.01.10. vizsga

1. comb-drive: elmozdulás, határfrekvencia, hogyan változik az elmozdulás, ha a határfrekvencián gerjesztjük
2. egyik végén befogott rúd, melegítés: deltaX, F
3. 5 elágazásos mikrofluidikai cső: sebesség, keveredési hossz, mekkora lenne a keveredési hossz, ha egy cső lenne
4. méretcsökkenés különböző erőfüggvényekre
5. anizotróp marás